上海睿游电子科技有限公司专业维修中科院48所射频电源；时间时间1-2天内。

常见故障分析与排除 序 号 1 故障现象 “预热”开不上电 故障原因分析 (1)保险管断 (2)“预热”开关坏 (1) 2 “高压”开而无功率输出 (2) 功率调节旋 钮在***位 A3 板插头松 动接触不良 排除方法 (1)更换保险管 (2)更换开关 (1)调节旋钮 (2)重新插紧插头3功率只能加到 500W 左 (1)A2 板损坏 右，甚至***，继续网上调 (2)环形变压器损坏 节旋钮功率、板压、板流均 (3)负载阻抗不匹配 无变化 (1)预热时间不够 (2)电子管损坏 (3)电源镀银电感短路 (4)电源其它故障

(1)更换 A2 板 (2)更换环形变压器 (3)调节匹配器
4板压低而板流过大
(1)延长预热时间 (2)更换电子管 (3)调整镀银电感 (4)维修电源
5板压高而板流过小
(1)电极与外壳短路 (2)电子管损坏 (3)电源其它故障
(1)检查负载电路 (2)更换电子管 (3)维修电源
6有板流板压而无功率显示
(1)功率转接线脱落 (1)连接功率转接线 (2)功率转接线接触不 (2)维修插头插座 良 (1)信号线脱落 (2)偶合电路损坏 (1)连接信号线 (2)维修偶合电路
7有辉光而无功率显示
说明： 1、除常见故障外的电源问题，请在专业人员指导下进行维修。切忌私自改 动电路、替换元件，否则由此引起的后果将由客户自行承担。